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中国光刻机现在多少纳米 中国高端光刻机什么时候能研制出来

更新时间:2025-01-06 11:35:31

一、中国光刻机现在多少纳米

2018年3月,上海微电子的90nm光刻机项目通过正式验收。这意味着,我们的国产光刻机目前可以做到90纳米工艺。

之前有人声称,上海微电子计划于2020年12月推出采用ArF光源的SSA800/10W光刻机,能够实现28nm节点的单次曝光。然而,这一说法存在争议,有人认为是真的,有人认为是假的,让人感到困惑。

事实上,上海微电子确实在研发能够实现28纳米制程的国产DUV光刻机,但是否通过验收以及具体何时交付仍不确定。

28纳米制程可以被视为国产光刻机的最高工艺水平,严格来说,这个水平并不算高,还有14、7、5、3、2甚至1nm等更先进的制程。

尽管如此,28纳米制程对于成熟工艺来说已经足够,生产成本较低。在不追求极致性能的情况下,这种制程的芯片能够满足日常电子设备的需求,如电视、电视盒子、音响、电梯、空调、微波炉、冰箱、汽车等。

根据IC Insights发布的《2020-2024年全球晶圆产能》报告,预计到2024年,半导体产业将呈现10nm以下、10-20nm、20nm以上三种工艺并存的格局,各自市场占有率约为1/3。28nm以上的成熟工艺在未来四年市场份额稳定,仍具较大市场潜力。

二、中国高端光刻机什么时候能研制出来

很多人疑惑,中国作为工业生产大国为何无法制造高端光刻机。主要原因在于中国工业规模庞大但技术细节不够精深。光刻机不仅仅是技术突破,而是整个光学领域的技术整合。

目前全球最先进的光刻机重约200吨,由近十万个零件组成,其中绝大多数都是核心零件,每个零件的制作都需要多项技术突破。有工程师表示,某些零件需要十年的打磨才能完成。

虽然最先进的光刻机来自荷兰,但荷兰公司只是负责组装和调试,核心零件则由西方多个国家提供。从美国到英国,再到法国和比利时,所有西方国家共同协作才能制造出顶级光刻机。因此,中国要想制造顶级光刻机,实际上是在与整个西方世界竞争。

这就好比班级考试,总成绩优秀的同学固然能获得高分,但每一门科目都需达到最高分。相比之下,那些成绩稍差的学生虽然在某些科目上表现不佳,但在另一些科目上可能表现突出,这些突出科目的成绩加起来也能形成一个很高的总分。

要制造顶级光刻机,需要在每一项技术上都达到极高的水平甚至满分。因此,中国在光刻机领域的突破不仅仅局限于几项新技术,而是需要在整个光学技术领域取得全面突破,才能以国家科技实力对抗整个西方社会。

关于中国何时能制造出顶级光刻机,这个问题没有明确答案。中国在光刻机领域的挑战类似于当年造原子弹时遇到的困难,包括缺乏计算机、离心机和数据资料。中国在美国造出原子弹后九年才拥有自己的原子弹,而中国现在大力研制光刻机仅近两年。

目前,我国最顶尖的光刻机水平相当于国际2005年左右的技术水平,差距大约15年。因此,许多人推测,中国可能在十年左右达到国际顶尖水平。

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